催化燃烧设备的工艺组成不同的排放场合和不同的废气，有不同的工艺流程。但不论采用哪种工艺流程，都由如下工艺单元组成。

 

①废气预处理，为了防止催化剂床层的堵塞和催化剂中毒，废气在进入床层之前有必要进行预处理，以除掉废气中的粉尘、液滴及催化剂的毒物。

 

②预热设备，预热设备包含废气预热设备和催化剂燃烧器预热设备。由于催化剂都有一个催化活性温度，对催化燃烧来说称催化剂起燃温度，有必要使废气和床层的温度抵达起燃温度才调进行催化燃烧，因而，有必要设置预热设备。但关于排出的废气本身温度就较高的场合，如橡胶、漆包线、绝缘材料、烤漆等烘干排气，温度可达300℃以上，则不必设置预热设备。